Herstellungsverfahren für Titandiborid

Zur großtechnischen Herstellung von Titandiborid wurden unter anderem die elektrochemische Synthese und die Festphasenreaktion entwickelt. Ein Beispiel für eine Festphasenreaktion ist die thermische Reduktion von Borcarbid, die durch die folgende Reaktionsgleichung veranschaulicht werden kann [2]:
2TiO2 + B4C + 3C → 2TiB2 + 4 CO
Bei der Gasphasenabscheidung werden Titantetrachlorid und Bortrichlorid als Ausgangsstoffe verwendet. In Gegenwart von Wasserstoff beträgt die Abscheidungstemperatur 800-1000 Grad und es können Produkte in Schleif- und Elektronikqualität hergestellt werden [2]:
TiCl4 + 2BCl3 + 5H2 → TiB2 + 10HCl
Darüber hinaus gibt es Methoden wie die direkte Reaktion von Bor und Titan in der festen Phase bei hoher Temperatur [1], die Flüssigphasenreaktion von Natriumborhydrid und Titantetrachlorid und die thermische Lösungsmittelreaktion.